Артикул: QDB-CF-600
Двери вакуумные быстрого доступа предназначены для использования в системах шлюзовой загрузки и других приложениях, требующих легкого и быстрого доступа, где приемлемым является уплотнение атмосферы с помощью витоновой прокладки.
| Фланец: |
CF100 (CF6'') |
| Тип двери: |
нет смотрового окна |
Артикул: QDV-CF-600
Двери вакуумные быстрого доступа предназначены для использования в системах шлюзовой загрузки и других приложениях, требующих легкого и быстрого доступа, где приемлемым является уплотнение атмосферы с помощью витоновой прокладки.
| Фланец: |
CF100 (CF6'') |
| Тип двери: |
есть смотровое окно |
Артикул: QDB-CF-800
Двери вакуумные быстрого доступа предназначены для использования в системах шлюзовой загрузки и других приложениях, требующих легкого и быстрого доступа, где приемлемым является уплотнение атмосферы с помощью витоновой прокладки.
| Фланец: |
CF160 (CF8'') |
| Тип двери: |
нет смотрового окна |
Артикул: QDV-CF-800
Двери вакуумные быстрого доступа предназначены для использования в системах шлюзовой загрузки и других приложениях, требующих легкого и быстрого доступа, где приемлемым является уплотнение атмосферы с помощью витоновой прокладки.
| Фланец: |
CF160 (CF8'') |
| Тип двери: |
есть смотровое окно |
Артикул: QDB-CF-1000
Двери вакуумные быстрого доступа предназначены для использования в системах шлюзовой загрузки и других приложениях, требующих легкого и быстрого доступа, где приемлемым является уплотнение атмосферы с помощью витоновой прокладки.
| Фланец: |
CF200 (CF10'') |
| Тип двери: |
нет смотрового окна |
Артикул: QDV-CF-1000
Двери вакуумные быстрого доступа предназначены для использования в системах шлюзовой загрузки и других приложениях, требующих легкого и быстрого доступа, где приемлемым является уплотнение атмосферы с помощью витоновой прокладки.
| Фланец: |
CF200 (CF10'') |
| Тип двери: |
есть смотровое окно |
Артикул: QDB-CF-450
Двери вакуумные быстрого доступа предназначены для использования в системах шлюзовой загрузки и других приложениях, требующих легкого и быстрого доступа, где приемлемым является уплотнение атмосферы с помощью витоновой прокладки.
| Фланец: |
CF63 (CF4.5'') |
| Тип двери: |
нет смотрового окна |
Артикул: QDV-CF-450
Двери вакуумные быстрого доступа предназначены для использования в системах шлюзовой загрузки и других приложениях, требующих легкого и быстрого доступа, где приемлемым является уплотнение атмосферы с помощью витоновой прокладки.
| Фланец: |
CF63 (CF4.5'') |
| Тип двери: |
есть смотровое окно |

Вакуумные быстросъемные двери, специально разработанные для быстрого и удобного доступа к загрузочным шлюзам и вакуумным камерам при загрузке и выгрузке подложек. Двери доступны в двух вариантах: глухие или со встроенным смотровым окном для визуального контроля процессов.
Для задач, требующих повышенной чистоты и минимального газовыделения, доступен вариант из высококачественной нержавеющей стали SS316L, обеспечивающий надежное поддержание вакуума внутри камеры.
Основные характеристики
▪️ Разнообразие размеров фланцев, с окном и без
▪️ Стандартный материал – нержавеющая сталь SS304L, опционально SS316L
▪️ Прецизионная откидная конструкция с уплотнением из FKM для надежной герметизации
▪️ Совместимость с креплениями для портов CF
▪️ Универсальная установка в любом положении