
Вакуумные быстросъемные двери, специально разработанные для быстрого и удобного доступа к загрузочным шлюзам и вакуумным камерам при загрузке и выгрузке подложек. Двери доступны в двух вариантах: глухие или со встроенным смотровым окном для визуального контроля процессов.
Для задач, требующих повышенной чистоты и минимального газовыделения, доступен вариант из высококачественной нержавеющей стали SS316L, обеспечивающий надежное поддержание вакуума внутри камеры.
Основные характеристики
▪️ Разнообразие размеров фланцев, с окном и без
▪️ Стандартный материал – нержавеющая сталь SS304L, опционально SS316L
▪️ Прецизионная откидная конструкция с уплотнением из FKM для надежной герметизации
▪️ Совместимость с креплениями для портов CF
▪️ Универсальная установка в любом положении