21711-0403R Затвор вакуумный 3х-позиционный, серии 21700, нержавеющая сталь, пневматическое управление, уплотнение тарелки к корпусу – витон, уплотнение верхней крышки к корпусу – витон, управляющее напряжение соленоида 24В постоянного тока, фланцы I

Артикул: 21711-0403R

935 100 руб./шт

+ -

В корзину

21711-0403R Затвор вакуумный 3х-позиционный, серии 21700, нержавеющая сталь, пневматическое управление, уплотнение тарелки к корпусу – витон, уплотнение верхней крышки к корпусу – витон, управляющее напряжение соленоида 24В постоянного тока, фланцы ISO-F 100 под болты, индикатор положения – герконового типа 150° С, без дополнительного порта

Описание

Данная серия вакуумных затворов разработана для работы в установках травления, химического осаждения из паровой фазы, напыления в вакууме, производстве мониторных панелей и любых других процессах, которые требуют точной и повторяемой регулировки давления.

Три положения затвора: полностью открыт, полностью закрыт и третье промежуточное настраиваемое положение
Плавное изменение давления при переходе от низкого к глубокому вакууму
Установка и управление промежуточного положения уплотняющей тарелки
При работе совместно с регулятором расхода газа обеспечивает широкие возможности по контролю уровня вакуума в вакуумной системе
Объединяет функции дросселя и затвора.

Технические характеристики:

Материалы
Корпус и тарелка	Нержавеющая сталь 304
Сильфонное уплотнение штока	Сплав на основе нержавеющей стали AM-350
Приводной шток и штифты	Закаленная нержавеющая сталь
Уплотнение верхней крышки к корпусу/тарелки Серия HV	Витон (эластомер)
Вакуумные параметры
Диапазон давлений	1х10^-9 мбар
Натекание по гелию	< 2 x 10^-9 мбар л/с
Перепад давлений в закрытом состоянии	1 бар в любом направлении
Макс. перепад давлений перед открытием	≤ 30 мбар
Рабочая температура
Корпус	150 °С
Привод	60 °С
Привод:
Пневматический (ман.)	80 футов/дюйм²
Соленоид	4.0 Вт
Напряжение питания	~120 В, 50/60 Гц
Возможные напряжения питания	~24, 200, 240 В, 50/60 Гц
Индикатор положения, макс. Герконовые контакты на открытое и закрытое положения Микровыключатель для третьего положения Возможные напряжения	~115 В или +28, 20 мА ~115 В, 5 А 250 ВА, 5 А +28 В, 5 А, активная нагрузка +28 В, 3 A, индуктивная нагрузка
Положение для монтажа в вакуумную систему	любое
Ресурс Циклов до сервисного обслуживания	1 000 000 зависит от процесса