TWCA6008 Кварцевые кристаллы серии AT для датчика измерения скорости напыления, 6МГц, сплав, 14 мм (10 шт.)

Описание

Кварцевый кристалл (другое название – QCM весы) со сплавным электродом — универсальный вариант, пригодный и для процессов с низкими, и для процессов с высокими напряжениями в плёнке. По данным производителя, сплав представляет собой основное направление развития измерительных кристаллов в отрасли, и значительная часть заказчиков перешла на него с золота и серебра. Два главных преимущества — увеличенный срок службы в ходе напыления и более стабильный результат от прогона к прогону.

Практический смысл для пользователя: одна позиция закрывает разные процессы, не нужно держать на складе два типа расходника и перенастраивать измеритель при смене задачи. Совместим с измерителями и контроллерами толщины Inficon, Maxtek, Sigma, Sycon.

Допуск центральной частоты ±0,004 МГц — точнее стандартного для линейки. Кристаллы из одной упаковки взаимозаменяемы без дополнительной настройки прибора, что упрощает работу с многопозиционными измерительными головками.

Основа — пьезоэлектрический кварц российского происхождения, добротность свыше 3 млн при обычных для рынка 2,4 млн. Заготовки изготавливаются на собственном производстве. Угол среза AT выдерживается 35°15′ с отклонением не более одной угловой минуты. Электрод наносится с точностью в пределах 3 ppm, что обеспечивает высокую плотность плёнки электрода и её адгезию к кварцу.

Все операции ведутся в чистых помещениях: очистка заготовок — класс 1000 (динамический) / 100 (статический), изготовление, контроль и запайка упаковки — класс 10 000. Выборочно контролируется кривизна заготовки на 3D-измерительной системе, сплошным порядком — внешний вид электрода и поверхности.

Измерение сопротивления каждого кварцевого кристалла выполняется на автоматической установке. Ручной контроль не даёт повторяемости, поэтому у ряда производителей паспортное значение сопротивления расходится с фактическим; автоматическая проверка эту проблему снимает.