TWCG6005 Кварцевые кристаллы серии AT для датчика измерения скорости напыления, 6МГц, золото, 14 мм (10 шт.)

Описание

Золотой электрод — самый распространённый тип измерительных кристаллов и вариант по умолчанию для большинства задач. Область применения — процессы с низкими напряжениями в осаждаемой плёнке: контроль толщины при напылении золота, серебра, меди, алюминия и других металлов.

Три свойства, за которые выбирают золото для электродов кварцевых кристаллов для вакуумного напыления: химическая стабильность, низкое переходное сопротивление в контакте с пружинами держателя и хорошая адгезия электрода к кварцу. К этому добавляется длительный срок хранения — в отличие от серебра, золото не окисляется, и вскрытую упаковку с кристаллами для датчика толщины плёнки не требуется расходовать в сжатые сроки.

Кварцевый кристалл датчика скорости напыления устанавливается в измерительную головку (сенсор для измерения скорости вакуумного напыления) системы вакуумного напыления. Сплошная золотая сторона обращается к источнику испарения, сторона с рисунком «двойной контакт» — к пружинным контактам держателя. Совместим с измерителями и контроллерами измерения скорости напыления и толщины напыляемых плёнок пр-ва Inficon, Maxtek, Sigma, Sycon.

Центральная частота 5,990 МГц выбрана как ближайшая к отраслевому стандарту: кварцевый кристалл заменяет ранее применявшиеся изделия без перенастройки прибора.

Производство

Исходный материал — пьезоэлектрический кварц российского происхождения с добротностью свыше 3 млн; типичное для рынка значение составляет около 2,4 млн. Заготовки изготавливаются производителем самостоятельно — контроль качества начинается с первой операции.

Угол среза AT выдерживается 35°15′ с отклонением не более одной угловой минуты. Электродная плёнка наносится с точностью в пределах 3 ppm, что даёт высокую плотность покрытия и его сцепление с кварцем кристалла для датчика толщины плёнки.

Очистка заготовок — чистое помещение класса 1000 по динамическому счёту, класса 100 по статическому. Изготовление, контроль и герметизация упаковки — класс 10 000. Кривизна заготовок для производства кварцевого кристалла для вакуумного напыления выборочно проверяется на 3D-измерительной системе: вершина выпуклости должна находиться в центре пластины. Перед отгрузкой каждое изделие осматривается на однородность электрода и дефекты поверхности.

Сопротивление измеряется автоматически на каждом кварцевом кристалле. Это принципиальный момент: величина сопротивления зависит от методики измерения, и при ручном контроле повторные замеры одного изделия расходятся между собой — паспортная цифра в таком случае мало о чём говорит. Автоматическая проверка кварцевых кристаллов для датчика толщины плёнки делает заявленное значение воспроизводимым.