На этом веб-сайте используются файлы cookie, которые обеспечивают работу всех функций для наиболее эффективной навигации по странице. Если вы не хотите принимать постоянные файлы cookie, пожалуйста, выберите соответствующие настройки на своем компьютере. Продолжая навигацию по сайту, вы косвенно предоставляете свое согласие на использование файлов cookie на этом веб-сайте. Более подробная информация предоставляется в нашей Политике конфиденциальности и Политике использования файлов сookie.

X

8 (800) 200-24-08, shop@evacuum.ru
Ваша корзина
пуста
Перейти в корзину

MCV-100SCCM-D/5M-TFTRD/RD:12', 5IN-DS Регулятор расхода газа с встроенным отсечным вакуумным клапано

Артикул: MCV-100SCCM-D/5M-TFTRD/RD:12', 5IN-DS
812 900 руб./шт
+ -
В корзину
 
Точное наличие на складе уточняйте
по тел. +7(495)725-26-28 или
shop@evacuum.ru
Наличие: менее 10 шт.
MCV-100SCCM-D/5M-TFTRD/RD:12', 5IN-DS Регулятор расхода газа с встроенным отсечным вакуумным клапаном серии MCV, расход 0,5 - 100 ст.см3/мин (мл/мин), цветная дистанционная панель (с подсветкой) длиной 12', аналоговый сигнал: 0-5 В постоянного тока, цифровой сигнал: интерфейс RS232, электрический разъем: 8-контактный Mini-DIN, технологическое подсоединение: внешняя резьба 1/4 " VCR, клапан: на выходе


  • Описание

Контроллеры потока газа для высокого вакуума серии MCV, оснащены отсечным клапаном. Клапан предназначен для отсечки среды (герметичность 1x10-9 атм x ст.см3/сек (He)) с целью предотвращения загрязнения. В контроллерах потока газа серий MCV применяется запатентованная, внутренне сбалансированная, технология измерения перепада давления ламинарного потока, позволяющая вычислять значения расхода, линейно зависимые от перепада давления, в очень широком диапазоне. Прибор отображает значения объемного и массового расхода, скорректированные с учетом изменений давления и температуры газа, также учитывающие заданные пользователем нормальные температуру и давление. В отношении каждого устройства компания реализует программу многосторонней технической поддержки, включая бесплатную техническую поддержку по телефону, оперативное проведение повторной калибровки и гарантию на весь срок службы.

Контроллеры потока газа серии серий MCV в отличии серии MCE оснащены большими встроенными дисплеями с сенсорными панелями, при помощи которых оператор может выбрать необходимую калибровку, отрегулировать уставку, а также изменять настройки ПИД-регулятора, управляющего работой клапана. Прекрасные рабочие характеристики прибора (достижимая точность 0.4%, повторяемость 0.2% от полной шкалы и время отклика элемента управления <100 мс) обеспечивают оптимальную эффективность приложений, связанных с управлением потоками газа. Устройства также оснащены как аналоговым, так и цифровым (RS232) интерфейсами. Помимо этого, возможны другие модификации приборов.

Примечание:

Контроллеры потока газа серии MCV находят применение в приложениях, где необходимым требованием является соответствие оборудования стандартам SEMI, а именно в полупроводниковой промышленности, а также в процессах, связанных с вакуумным напылением. Устройства серии MCV предназначены для высокого вакуума. Благодаря отличным техническим характеристикам (возможность одновременного измерения сразу нескольких величин, многофункциональное управление, наличие калибровок для большого количества газов, отношение верхнего предела измерения к нижнему 200:1) контроллер потока газа можно применять в качестве универсального элемента управления, отказавшись от использования нескольких специализированных устройств.

Свойства Расходомеров и регуляторов потока газа:

- измерение массового и объемного расхода, а также абсолютного давления и температуры потока газа
- точное регулирование подачи потока газа в диапазоне от 0-10 sccm до 0-20 slpm
- Диапазон регулирования: 0.1% - 100% от полной шкалы (диапазон отображения 0.01% - 100% от полной шкалы).
- Точность измерения 0.1% от полной шкалы + 0.6% от считываемого значения (0.4% опционно)
- самая высокая скорость отклика среди всех выпускаемых РРГ: 50-100 мс
- запатентованный принцип работы на основе измерения перепада давления ламинарного потока, не требуется время для прогрева
- отсутствие нагревательных элементов, высокая надежность
- более 130 предустановленных калибровок, а также возможность заказать калибровку по нестандартной смеси или газу
- встроенный отсечной вакуумной клапан
- VCR порты для подсоединени газовых линий (опционно приваренные обжимные фиттинги под трубку 1/4")
- наличие цифрового RS-485 и аналогового выходов
- большое количество опций для заказа

Технические характеристики:

Диапазон измерений устройств серии и MCV варьируется от 0-0.5 ст.см3/мин до 0-20 ст.л./мин.

 Рабочие характеристики     Контроллер потока газа MCV
     Точность измерения по завершении тарирования      ± (0.8% от показания + 0.2% от полной шкалы)
     Высокая точность измерения по завершении тарирования      ± (0.4% от показания + 0.2% от полной шкалы)
Опция «высокая точность» не доступна для устройств с предельным показанием шкалы ниже 5 ст.см3/мин
     Повторяемость      ± 0.2% от полной шкалы
     Смещение начальной и конечной точки      0.02% от полной шкалы / по Цельсию / атм
     Рабочий диапазон / Отношение верхнего предела
измерения к нижнему
     от 0.5% до 100% от полной шкалы / 200:1 (отношение верхнего предела измерения к нижнему)
     Верхний предел регулирования расхода      102.4% от полной шкалы
     Типовое время отклика      100 мс (настраиваемая величина)
     Время готовности к работе      < 1 секунды
     Герметичность клапана      макс.1 x 10-9 атм х ст.см3/сек (He)

Эксплуатационные условия     Контроллер потока газа MCV
     Нормальные условия эксплуатации (нормальные                                                      температура и давление)      25ºC и абсолютное давление 14.696 фунт-сила/дюйм
     Рабочая температура      от −10 до +50 º по Цельсию
     Диапазон значений влажности (без конденсации)                   от 0 до 100%
     Максимальное давление      манометрическое давление 145 фунт-сила/дюйм2
     Чувствительность к положению при монтаже      отсутствует
     Тип клапана      нормально закрытый
     Степень защиты от воздействия окружающей среды      IP40
     Материалы, контактирующие с измеряемой средой      MCV: 316L, нержавеющая сталь 303 и 302, Viton® (эластомер), силикон RTV (эластомер), армированный стекловолокном нейлон, алюминий, латунь, нержавеющая сталь 430FR, кремний, стекло, PCTFE (полихлортрифторэтилен).

 Передача данных / Источник питания     Контроллер потока газа MCV  
     Монохромный ЖКД либо цветной ЖКД на тонкопленочных                     
транзисторах со встроенной сенсорной панелью
     одновременно отображает значения массового расхода, объемного расхода, давления и температуры
     Цифровой выходной сигнал (возможные варианты)1      последовательный интерфейс RS-232 / последовательный интерфейс RS-485 / PROFIBUS3
     Аналоговый выходной сигнал (возможные варианты)2      0-5 В постоянного тока / 1-5 В постоянного тока / 0-10 В постоянного тока / 4-20 мА
     Второй аналоговый выходной сигнал, поставляемый по отдельному
 заказу2
     0-5 В постоянного тока / 1-5 В постоянного тока / 0-10 В постоянного тока / 4-20 мА
     Варианты электрического соединения      8-контактный разъем Mini-DIN / 9-контактный разъем D-sub (DB9) / 15-контактный разъем D-sub (DB15) / 6-контактный электрический разъем 
     Напряжение источника питания      от 12 до 30 В постоянного тока (15-30 В постоянного тока для выходов 4-20 мА)
     Ток источника питания      0.250 А


 

Предельное показание шкалы
 контроллера потока газа   

                Размеры прибора                              Технологические соединения            
 от 0.5 ст.см3/мин до 20 ст.л./мин  4.8”В x 6.8”Ш x 1.5”Г                            наружная резьба 1/4” VCR®