Устройства для измерения толщины TM13 состоят из: кварцевого осциллятора, измерителя частоты и коммуникативного интерфейса. На вход устройства поступает сигнал от кварцевого резонатора. Результаты измерений передаются с помощью RS485 в ПК или контроллер TMC13.
Технические характеристики:
Напряжение питания | 5В постоянного тока |
Максимальное значение тока | 500 мА |
Разрешающая способность по толщине | 0.1 Å |
Разрешающая способность по скорости напыления | 0.1 Å/с |
Разрешающая способность по частоте | 0,1 Гц |
Стабильность частоты | 0,5 ppm |
Число измерений в секунду | 4 |
Максимальная частота осциллятора | 6 МГц |
Коммуникационный интерфейс | RS485 |
Размеры, мм | ШхВхГ 80х50х27 |
Вес (приблизительно) | 0,1 кг |
Цена действительна только для покупателей в нашем интернет-магазине. |