VSL53E Комбинированный вакуумный пьезорезистивный датчик/датчик Пирани без дисплея на фланце KF16, цифровой интерфейс RS485 и EtherCAT, абсолютное давление 1200-1е-4 мбар и относительное давление от -1260 до 940 мбар

Артикул: VSL53E

353 100 руб./шт

+ -

В корзину

Описание
Аксессуары (11)

Комбинированный вакуумный датчик VSL53E на базе пьезорезистивного датчика и датчика Пирани предназначен для сверхточного измерения с высоким разрешением в условиях низкого и глубокого вакуума для шлюзов.

Технические характеристики комбинированного вакуумного датчика VSL53E:

Принцип измерения	Мембранный пьезорезистивный / Пирани
Материалы, контактирующие с вакуумом	Нерж. сталь 1.4307, никель, золото, двуокись кремния, вольфрам, стекло
Диапазон измерения	1200 - 1 x 10^-4мбар (900 - 1 x 10^-4 торр), макс. избыточн. абсолют. давление 4 бар
Точность	1200 - 40 мбар: ±0,3% от полной шкалы 40 - 2 x 10^-3 мбар: ±10% от показания
Повторяемость	1200 - 40 мбар: ±0,1% от полной шкалы 40-1x10^-2 мбар: ±2% от показания
Длительность реакции	40 мс
Питание	20 - 30 В постоянного тока
Электрическое подключение	Круглый разъем M12, розетка, с фиксацией 1x A-стандарт, 5-полюсн., 2x D coded, 4 -полюсн.
Потребление мощности	2,5 Вт, дополнительно 0,8 Вт для EtherCAT / реле / ЖКД / дополнительно 1,6 В для Profinet
Рабочая температура	+5...+60°C
Температура хранения	-40...+65°C
Макс. температура вакуума	150°C на фланце
Последовательный интерфейс	RS485: от 9,6 Кбит/с до 115 Кбит/с, 8 бит данных, 1 стопбит, без проверки четности
Коммутационные положения	Максимум 2,5 В / дополнительно 0,8 В для EtherCAT / дополнительно 1,6 В для Profinet
Вакуумный соединитель	DN 16 ISO-KF
Степень защиты	IP54
Масса	195 г

Преимущества комбинированного вакуумного датчика VSL53E:

Комбинированный датчик со встроенной системой сенсоров
Три различных метода измерения абсолютного и относительного давления; идеально подходит для приложений со шлюзом
Два пьезорезистивных датчика для контроля откачки и атмосферного давления
Перепад давления на выходе для точного запуска функции открытия двери
Датчик Пирани, измеряющий давление до 1е-4 мбар, контролирует передачу низкого давления между шлюзом и рабочей камерой, сводя к минимуму попадание частиц в рабочую камеру
Высокая точность, оптимальное разрешение, превосходная стабильность
Две независимые уставки реле могут быть назначены любой из функций датчика
Длительность реакции меньше чем 40 мс
Стабильность измеряемых показателей за счет оптимизированной температурной компенсации
Цифровое регулирование нулевого давления с помощью цифрового интерфейса RS485 и EtherCAT
Измерения не зависят от типа газа выше 20 мбар
Совместим с 2 и 4-канальными блоками контроля и индикации Thyracont VD12 / VD14
Вакуумный соединитель - малый фланец из нержавеющей стали DN 16 KF