Анализатор остаточных газов ХТ-300, 1-300а.е.м.

Диапазон анализируемых масс                                                           1 – 300  а.е.м.

Минимально определяемое парциальное давление                            10^-11 торр

Для определения типа и количества остаточных газов в вакуумной камере используются анализаторы остаточных газов, изготовленные и работающие по приципу квадрупольного масс-спектрометра.

Поставляемые нами анализаторы остаточных газов также позволяют отслеживать химический состав газов (определять парциальные давления по пикам масс-спектра) в технологическом процессе. Если технологический процесс идёт при давлениях 10^-4 торр и больше, анализатор остаточных газов соединяется с камерой через небольшую диафрагму (доли мм), и имеет собственную высоковакуумную откачку.

Встроенные вакуумные датчики Пирани и высоковакуумный ионизационный датчик позволяют контролировать уровень вакуума от 1 атм до сверхвысокого вакуума, а также защищают анализатор остаточных газов, отключая его при высоких давлениях (10^-4 торр и выше), сохраняя нить накала от перегорания.

Анализатор остаточных газов крепится на фланце CF2.75”, диаметр зонда не превышает 32 мм, длина зонда составляет 173 мм.

С анализатором остаточных газов поставляется программное обеспечение, интуитивный интерфейс которого легко и быстро позволяет начать работу с квадрупольным масс-спектрометром компании EXTORR.

Более подробную информацию об анализаторе остаточных газов серии ХТх00(М) можно посмотреть на странице http://actan.ru/vac_rga.html